RWDE 晶圆机器人

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特色

直驱电机传动设计，重复精度达±0.1mm，可选配电翻模块，支持非径向取放功能。

重复精度

±0.1mm

Z轴行程

Max.500mm

额定负载

1-3kg

应用

半导体 LED 面板 IC 自动光学检测 自动化
 

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