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上银晶圆运输机器人：±0.1μm级洁净室精密搬运，破解300mm晶圆良率与效率瓶颈

2026-05-28

上银晶圆运输机器人：±0.1μm级洁净室精密搬运，实测提升晶圆良率4.2%，破解300mm晶圆产能瓶颈

2026-05-29

上银晶圆运输机器人：±0.1μm级洁净传输实测提升良率4.2%，破解半导体产能瓶颈

2026-06-02

上银晶圆运输机器人：±0.1μm级精密搬运实测，突破300mm晶圆厂效率瓶颈

2026-06-04

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