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上银晶圆运输机器人：±0.1μm级定位突破半导体良率天花板，洁净室搬运效率实测提升40%

2026-05-22

上银晶圆运输机器人：±0.1μm级洁净室精密搬运，实测提升晶圆良率4.2%，破解300mm晶圆产能瓶颈

2026-05-29

上银晶圆运输机器人：±0.1μm级洁净传输，实测提升晶圆良率4.2%并降低破片率60%

2026-05-29

上银晶圆运输机器人：±0.1μm级洁净传输实测提升良率4.2%，破解半导体产能瓶颈

2026-06-02

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