上银晶圆级高精度机器人:突破300mm晶圆传输定位瓶颈,OHT天车兼容方案
2026-05-14
上银晶圆机器人突破纳米级精密定位,助力半导体良率提升4.8%
2026-05-19
上银晶圆运输机器人:±0.1μm级精度突破,半导体洁净室自动化搬运效率提升42%
2026-06-03
联系方式
协助选型+图纸+免费报价