上银晶圆机器人：突破300mm晶圆传输精度极限，定位误差≤±0.1mm
2026-04-29
上银晶圆运输机器人：±0.1μm级定位突破，破解300mm晶圆搬运良率与效率双重瓶颈
2026-05-20
上银晶圆运输机器人：±0.1μm级洁净室精密搬运，实测提升晶圆传输效率40%
2026-06-03
上银晶圆运输机器人：实现±0.01mm高洁净度搬运，突破300mm晶圆产线效率瓶颈
2026-06-15
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