HIWIN半导体EFEM系统：晶圆搬运MTBF超21,600小时，奈米定位平台伺服稳定度±2nm，通过SEMI S2认证

2026-08-17

HIWIN半导体EFEM系统：关键零组件全自制，MTBF突破2.1万小时，获美商应用材料最佳品质奖

2026-08-18

HIWIN半导体晶圆移载系统（EFEM）：实测MTBF突破21,600小时，奈米定位平台精度±2nm，获应用材料品质奖

2026-08-18

HIWIN晶圆移载系统EFEM：整合机器人、纳米定位平台与AI视觉，重复精度±0.1mm，PLP封装良率提升90%

2026-08-26

HIWIN半导体晶圆移载系统（EFEM）：关键零组件100%自制，MTBF突破21,600小时，PLP封装检测效率提升30%

2026-09-01

HIWIN半导体垂直整合方案：EFEM搭载纳米级定位平台，MTBF突破21,600小时，PLP封装良率提升4.8%

2026-09-04