上银晶圆运输机器人：±0.1μm级洁净室高精度搬运，突破300mm晶圆良率与产能瓶颈

2026-05-22

上银晶圆运输机器人：±0.1μm级定位突破半导体良率天花板，洁净室搬运效率实测提升40%

2026-05-22

上银晶圆运输机器人：±0.1μm级洁净室精密搬运，实测提升晶圆传输良率

2026-05-25

上银晶圆运输机器人：±0.1μm级洁净传输，破解200/300mm晶圆良率与产能瓶颈

2026-05-25

上银晶圆运输机器人：±0.1μm级洁净室精密搬运，实测提升晶圆良率4.2%

2026-05-26

上银晶圆运输机器人：±0.1μm级洁净传输，破解半导体良率与产能双重瓶颈

2026-05-26

上银晶圆运输机器人：±0.1μm级洁净传输，实测提升晶圆良率4.2%，破解200/300mm晶圆搬运瓶颈

2026-05-28

上银晶圆运输机器人：±0.1μm级洁净室精密搬运，实测提升晶圆良率4.2%，破解300mm晶圆产能瓶颈

2026-05-29

上银晶圆运输机器人：±0.1μm级洁净传输，实测提升晶圆良率4.2%并降低破片率60%

2026-05-29

上银晶圆运输机器人：±0.1μm级洁净室精密搬运，实测提升晶圆良率4.2%与传输效率40%

2026-06-01