上银晶圆运输机器人：±0.1μm级精密传输，突破半导体良率与产能双重瓶颈
2026-06-10
上银晶圆运输机器人：突破300mm晶圆亚微米级洁净传输，实测数据验证效率与良率双提升
2026-06-11
上银晶圆运输机器人：±0.1μm级亚微米精密传动，破解半导体晶圆搬运良率与效率双瓶颈
2026-06-11
上银晶圆运输机器人：实现±0.01mm高洁净度搬运，突破300mm晶圆产线效率瓶颈
2026-06-15
2026-06-16
上银晶圆运输机器人突破300mm晶圆厂内物流瓶颈，洁净室兼容与高定位精度数据首曝光
2026-06-17
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2025-05-09
2025-07-09
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